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川崎機(jī)器人 NT620 雙手臂無(wú)塵機(jī)器人

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品牌：	川崎
軸數(shù)：	5軸
重復(fù)定位精度：	±0.1mm
單價(jià)：	面議
所在地：	上海
有效期至：	長(zhǎng)期有效
最后更新：	2021-06-23 11:08
瀏覽次數(shù)：	411

店鋪基本資料信息

川崎重工機(jī)器人服務(wù)商
[VIP第3年] 指數(shù):4
通過(guò)認(rèn)證 [誠(chéng)信檔案]
聯(lián)系人羅經(jīng)理(先生)
會(huì)員 [當(dāng)前離線] [加為商友] [發(fā)送信件]
郵件ljw@gongboshi.com
電話17521388922
手機(jī)17521388922（微信同號(hào)）
地址上海市寶山區(qū)富聯(lián)一路98弄6號(hào)

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

NT系列機(jī)器人

用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板、太陽(yáng)能面板

長(zhǎng)伸展距離水平手臂

NT系列無(wú)塵機(jī)器人設(shè)計(jì)的目的是讓一個(gè)機(jī)器人可以伸展開(kāi)來(lái)管護(hù)多達(dá)四個(gè)FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計(jì)，以400晶片每小時(shí)（WPH）的速率來(lái)搬運(yùn)300mm或450mm晶圓，而沒(méi)有使用校準(zhǔn)器。

NT系列機(jī)器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

應(yīng)用:

無(wú)塵室

無(wú)塵機(jī)器人外設(shè):

抓手
校準(zhǔn)器NS004

卓越的伸展距離

單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個(gè)。

高吞吐量

標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH。可用選配的抓手，增加吞吐量到700WPH。

SEMI F47合規(guī)

NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NT型號(hào)可以滿(mǎn)足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測(cè)

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專(zhuān)用設(shè)備的損壞。

懸掛式安裝

NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿(mǎn)足ISO1級(jí)的要求。

應(yīng)用范例

NT系列寬廣的運(yùn)動(dòng)范圍使其能夠訪問(wèn)主室，而不需要一個(gè)梭子或額外的機(jī)器人。

布局范例

一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到4個(gè)FOUP就訪問(wèn)所有的EFEM。

NT系列機(jī)器人規(guī)格

型號(hào)		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)型
自由度		4 軸	5 軸	4 軸	5 軸	5 軸
運(yùn)動(dòng)范圍	θ1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
	Z 軸 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
	θ2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
	H1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
	H2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT7)	-	340°	-	380°	380°
*大伸展距離		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
重復(fù)性		± 0.1 mm （晶圓中心）
*無(wú)塵度1**		ISO 1級(jí)
控制柜		D60/D61 (規(guī)格見(jiàn)無(wú)塵控制柜)